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    硅晶圓制作中應用的超純水設備如何?

    時間:2023-10-31

      熟悉半導體領域的人都知道硅晶圓,硅晶圓作為半導體電路的核心組件,是一種承載物,為了制成半導體積體電路的原材料。所以,半導體質量的好壞與硅晶圓生產息息相關。

      我們發現為了保證硅晶圓質量,其清洗用水多為高質量的超純水,因為只有超純水作為清洗用水才能保證硅晶圓的品質,保證硅片無雜質吸附,那么什么樣的超純水設備才能產出高質量的超純水呢?

    超純水設備

      采用預處理+反滲透+EDI+拋光混床的工藝組合形式的超純水設備方可制備出高質量的超純水。這類硅晶圓超純水設備具有高效低能、運行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運行的時間長等優點。設備應用的EDI模塊水處理過程中不需要添加任何化學品,不僅減少了化學品運輸問題,同時降低了系統運行費用。本模塊不會有酸堿廢液產生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理系統產出的濃水完全可以回收再利用。

      硅晶圓超純水設備還具有無需樹脂再生,自動化性能強,無需人工操作等優勢。設備能夠連續穩定的制備品質優良的超純水,采用的設計結構相對靠緊,所以其占地非常小,可以為企業節省很多空間,在符合硅晶圓生產用水水質標準的同時可以使水資源的利用率達到80%左右,有效提升了水資源利用率。

      隨著科技的不斷進步,半導體行業不斷的發展,我國對于該行業的政策支持,使得硅晶圓的市場需求也在不斷增加,超純水的需求也在悄然的增加。

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      編輯:柒柒   技術:米

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